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晶圓片附著痕量有機物分析(GCMS)

  • 儀器品牌島津
  • 經營單位京科瑞達
  • 我們的產品已覆蓋色譜，光譜，質譜三大類共100多個品規，品種全，規格多，能滿足客戶對分析儀器的需求。主要產品有：氣相/液相色譜儀（GC/HPLC）、氣質/液質聯用儀（GCMS/LCMS）、紫外/紅外光譜儀（UV/FTIR）、原子吸收光譜儀（AAS）、等離子體光電直讀光譜儀（ICP/ICP-MS）等。二手分析儀器在醫藥、化工，環保、食品、科研等領域的廣泛應用，有效地解決了客戶對分析儀器“想用買不起”的困擾，受到了廣大客戶的認可。
全國熱線400 0000 439

詳情介紹

與硅片所接觸的材料，設備，人員等外界環境都包含有機化合物。在該實例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產生的揮發性氣體可以通過一臺GC-MS進行收集和分析。

通常，塑料材質的零配件會檢測出包含C12（1-十二碳烯）、環甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。

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氣相色譜-質譜聯用儀

通過加熱晶圓片，分析有機物揮發出的氣體組分所對應的色譜圖，進而對附著于晶片的有機物進行定性分析。樣品可以通過一個氣體收集器進行采集。此檢測系統可以實現ng級樣品濃度的定量分析。


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精選氣相色譜分析解決方案

我們的 GC 解決方案包括使您能夠成功進行氣相色譜分析的氣相色譜分析儀、進樣器、檢測器，色譜柱、自動進樣器以及軟件。

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